сканирование (РЭМ элемента исследуемого

3.19 сканирование (РЭМ элемента исследуемого объекта): Перемещение электронного зонда вдоль выбранного отрезка исследуемого объекта с помощью отклоняющей системы РЭМ с одновременной регистрацией информативного сигнала.

Источник: ГОСТ 8.594-2009: Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки оригинал документа

Смотри также родственные термины:

3.20 сканирование (РЭМ элемента исследуемого объекта): Перемещение электронного зонда вдоль выбранного отрезка исследуемого объекта с помощью отклоняющей системы РЭМ с одновременной регистрацией информативного сигнала.

Определения термина из разных документов: сканирование (РЭМ элемента исследуемого объекта)

Источник: ГОСТ Р 8.631-2007: Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки оригинал документа